日刊工業新聞社教育用映像ソフトDVD / 超LSIの製造技術 5巻超LSIの製造技術(Ⅲ)

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超LSIの製造技術 5巻超LSIの製造技術(Ⅲ)

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制御・エレクトロニクス

収録時間	43分
監修	酒井　徹志(日本電信電話(株)) 小切間　正彦((株)日立製作所)
制作年	1990年
内容	今日のエレクトロニクス産業の発展には、目を見張るものがあります。これを支えてきたのは急速な半導体技術の進歩にほかなりません。ご承知のように、代表的なLSIメモリーのDRAMは、開発競争が激化しています。　このような状況の中で、本ビデオでは、基本的なデバイス技術から最新の微細加工技術を中心に超LSIの製造プロセスを現場撮影とCGを駆使してわかりやすく映像化いたしました。第5巻　超LSIの製造技術〔Ⅲ〕[43分] 1.リソグラフィ技術 2.光露光技術　 3.X線露光技術 4.電子ビーム露光技術 5.レジストプロセス 6.エッチング技術